The 80th JSAP Autumn Meeting 2019

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17 Nanocarbon Technology » 17 Nanocarbon Technology (Poster)

[21a-PB1-1~86] 17 Nanocarbon Technology (Poster)

Sat. Sep 21, 2019 9:30 AM - 11:30 AM PB1 (PB)

9:30 AM - 11:30 AM

[21a-PB1-56] Rotationally-oriented MoS2 grown by thermal vapor sulfurization of Mo film

Kenjiro Hayashi1,2, Masako Kataoka1, Hideyuki Jippo1,2, Mari Ohfuchi1,2, Shintaro Sato1,2 (1.Fujitsu Lab., 2.Fujitsu)

Keywords:molybdenum disulfide, MoS2, sensor

Mo膜の熱硫化法(Thermal Vapor Sulfurization)によって、基板上にMoS2膜を合成した。得られたMoS2膜をチャネルとして用いた電界効果型トランジスタ(FET)を作製し、電気特性を評価した。また、これをFET型センサーとしてNO2に対する応答評価を行った。