[21a-PB1-1~86] 17 ナノカーボン（ポスター）

[21a-PB1-56] Mo膜硫化によるMoS₂の配向成長

〇林 賢二郎^1,2、片岡 真紗子¹、實宝 秀幸^1,2、大淵 真理^1,2、佐藤 信太郎^1,2 (1.富士通研、2.富士通)

キーワード：二硫化モリブデン、MoS2、センサー

Mo膜の熱硫化法（Thermal Vapor Sulfurization）によって、基板上にMoS₂膜を合成した。得られたMoS₂膜をチャネルとして用いた電界効果型トランジスタ（FET）を作製し、電気特性を評価した。また、これをFET型センサーとしてNO₂に対する応答評価を行った。