[21a-PB1-1~86] 17 ナノカーボン（ポスター）

[21a-PB1-82] 超高感度力計測へ向けたグラフェン機械共振器の小型化

〇(M1)池本 拓史¹、中川 魁斗¹、井上 太一¹、竹井 邦晴¹、有江 隆之¹、秋田 成司¹ (1.大阪府大工)

キーワード：機械共振器、Q値、検出感度

前回、グラフェン共振器(G-MR)のサイズを6から2 mmへ小型化することで共振周波数が10倍、Q値が5倍大きくなり、これにより力検出感度が7倍向上したことを報告した。より高感度化を目指し、サブミクロンサイズのG-MRのQ値について2 mmのG-MRと比較・検討した。