[21p-B31-1~14] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[21p-B31-13] 【注目講演】10-A超β-Ga₂O₃ショットキーバリアダイオードの動作実証

〇佐々木 公平¹、高塚 章夫¹、大塚 文雄¹、ティユ クァントゥ¹、リンガパルティ ラビキラン¹、脇本 大樹¹、山腰 茂伸¹、倉又 朗人¹ (1.ノベルクリスタルテクノロジー)

キーワード：酸化ガリウム、ショットキーバリアダイオード、SBD