[21p-C309-1~9] 6.1 強誘電体薄膜

△ [21p-C309-5] (Pb_xSr_1-x)TiO₃薄膜における組成及び膜厚がドメイン構造に及ぼす影響

〇太田 悠登¹、山田 智明¹、吉野 正人¹、清水 荘雄²、舟窪 浩²、長崎 正雅¹ (1.名大工、2.東工大物院)

キーワード：強誘電体

強誘電体薄膜では、ドメイン構造は歪みや膜厚に強く影響を受けるため、強誘電特性や圧電特性を設計する上で、それらの影響を明らかにすることは重要である。本研究では、(Pb_xSr_1-x)TiO₃ (PST)に着目し、組成及び膜厚がドメイン構造に及ぼす影響を明らかにすることを目的とした。実験結果からx=0.4のPSTでは典型的なa1/a2ドメインではない、構造が観測された。