[21p-C309-1~9] 6.1 Ferroelectric thin films

△ [21p-C309-7] Evaluation of structural change by electric field and piezoelectricity of PZT film with near MPB composition

〇Hidehisa Inoue¹, Takao Shimizu¹, Hiroshi Funakubo¹ (1.Tokyo Institute of Technology)

Keywords:ferroelectric, piezoelectric, lead zirconate titanate

我々は正方晶PZT膜において、大きな圧電特性の発現を確認し、またこのような特性を発現させるような分極処理や電界印加下において、結晶構造が大きく異なることを見出している。前回の講演会では、MOCVD法によって作製した高品質なMPB近傍組成のPZT膜においても、分極処理および電界印加下で結晶構造が大きな変化することを報告した。今回はより詳細な検討を行ったので報告する。