[21p-C309-1~9] 6.1 Ferroelectric thin films

[21p-C309-8] Relationship between the electric properties and the morphology of PZT thin film by different stacking structure.

〇Tsukasa Koyama¹, Hiroko Futamura¹, Sinichi Murakami¹, Mitsunobu Yasuda¹, Yuka Segawa¹, Takahiro Harada¹, Yuji Otsuka¹, Kensuke Kanda² (1.TRC, 2.Univ. of Hyogo)

Keywords:Ferroelectric, Electron microscopy

MEMS（マイクロ電気機械システム）は、センサやアクチュエータとして、スマートフォン、デジタルカメラや車などに搭載されている。圧電材料は高い電気機械変換効率を有する機能性材料であるため、MEMSと組み合わせた圧電MEMSはこれまで以上の特性を得られるマイクロシステムとして注目されている[1]。圧電MEMSではPZT（Pb(Zr, Ti)O₃）が主に利用されているが、その成膜手法や積層構造によって特性は異なる。本研究では、RFマグネトロンスパッタ法によりシリコン基板上に積層構造を変えて製膜した試料を、SEM観察及び断面TEM観察を実施することで、電気特性と形態の関係性を見出すことを目的とした。