[21p-C309-1~9] 6.1 強誘電体薄膜

[21p-C309-8] 積層構造の異なるPZT薄膜における電気特性と形態の関係性

〇小山 司¹、二村 寛子¹、村上 慎一¹、安田 光伸¹、瀬川 有香¹、原田 貴弘¹、大塚 祐二¹、神田 健介² (1.東レリサーチセンター、2.兵県大工)

キーワード：強誘電体、電子顕微鏡

MEMS（マイクロ電気機械システム）は、センサやアクチュエータとして、スマートフォン、デジタルカメラや車などに搭載されている。圧電材料は高い電気機械変換効率を有する機能性材料であるため、MEMSと組み合わせた圧電MEMSはこれまで以上の特性を得られるマイクロシステムとして注目されている[1]。圧電MEMSではPZT（Pb(Zr, Ti)O₃）が主に利用されているが、その成膜手法や積層構造によって特性は異なる。本研究では、RFマグネトロンスパッタ法によりシリコン基板上に積層構造を変えて製膜した試料を、SEM観察及び断面TEM観察を実施することで、電気特性と形態の関係性を見出すことを目的とした。