[21p-C310-1~4] 6.4 薄膜新材料

[21p-C310-1] 非平衡プラズマの活性種の検討による多孔質TiO₂層の作製と色素増感太陽電池への応用

〇眞弓 慎司¹、澤村 南斗¹、鷺坂 潤平¹、奥村 亮祐¹、奥谷 昌之¹ (1.静岡大院工)

キーワード：非平衡プラズマ、TiO2、色素増感太陽電池

本研究グループでは、大気圧下での誘電体バリア放電を利用して非平衡二次元プラズマを発生させ、これを前駆体を塗布した基板へ照射することでSnO₂やZnO、TiO₂の製膜を報告した。さらに前回、この製膜技術が色素増感太陽電池（DSSC）用の多孔質TiO₂層の作製に利用できることを示した⁴⁾。そこで本研究では、製膜時の雰囲気制御により、多孔質TiO₂層の形成に有効なプラズマ活性種の検討を行い、DSSCの最適化を試みた。