[21p-C310-1~4] 6.4 薄膜新材料

[21p-C310-2] TiO₂膜の作製における非平衡二次元プラズマの活性種の検討

〇眞弓 慎司¹、澤村 南斗¹、鷺坂 潤平¹、奥村 亮祐¹、奥谷 昌之¹ (1.静岡大院工)

キーワード：非平衡二次元プラズマ、TiO2

本研究グループでは非平衡二次元プラズマに注目した。非平衡二次元プラズマの特徴を利用することで、この現象を低融点材料の表面処理技術だけでなく、製膜技術へ応用することが期待できる。本研究グループでは、これまでに大気圧下における非平衡二次元プラズマを利用したSnO₂やZnOの製膜を報告した。本研究では、光触媒や色素増感太陽電池への応用が期待されているTiO₂の製膜を非平衡二次元プラズマの利用により試みた。同時に、雰囲気制御により、酸化物薄膜の形成に有効なプラズマ活性種の検討を行った。