[21p-E204-1~6] 3.14 光制御デバイス・光ファイバー

△ [21p-E204-4] エアブリッジ型Nb₂O₅導波路の製作プロセスの検討

〇(M1)山中 直貴¹、端山 喜紀¹、中津原 克己¹ (1.神奈川工科大)

キーワード：導波路、光スイッチ

強誘電性液晶を用いた可変位相シフタの性能向上を目指してエアブリッジ型Nb₂O₅導波路の製作プロセスの検討を行ったので報告する。