13:30 〜 13:45 [11p-W541-1] [講演奨励賞受賞記念講演] 深紫外発光素子応用に向けたスパッタ成膜AlNテンプレートの転位密度低減 〇上杉 謙次郎1、林 侑介2、正直 花奈子3、永松 謙太郎1、三宅 秀人2,3 (1.三重大地域創生戦略企画室、2.三重大院地域イノベ、3.三重大院工)