10:45 〜 11:00 [12a-W641-8] 熱電対を用いた裏面温度測定によるシリコンウェハ非接触温度測定の絶対温度の検証 〇(M1)亀田 朝輝1、花房 宏明1、東 清一郎1 (1.広大院先端研)