10:30 〜 10:45 △ [12a-W641-7] 電磁界シミュレーョンを用いたスロットアンテナ励起によるマイクロ波プラズマの均一生成法の検討 〇島田 大伸1、相澤 洸1、石島 達夫1、田中 康規1、上杉 喜彦1 (1.金沢大自然)