09:30 〜 11:30 [12a-PA3-22] プラズマ支援分子線堆積法によるフレキシブル基板上へのGZO透明導電膜の形成と評価 (3) 〇村中 司1、小野 裕俊1、寺田 佳史1、渡辺 三志郎1、鍋谷 暢一1、松本 俊1 (1.山梨大工)