09:30 〜 11:30 [12a-PB1-9] Si含有DLC成膜用テトラメチルシランプラズマ特性の計測-プラズマ基礎特性のガス流量依存性- 〇大野 祐也1、永井 雅之1、鈴木 駿1、小田 昭紀1、太田 貴之2、上坂 裕之3 (1.千葉工大、2.名城大、3.岐阜大)