16:00 〜 18:00 [9p-PB6-10] SiNx/Si構造の電気特性におけるファイヤースルー処理の影響(III) 〇高見 建也1、堀川 裕貴1、森 英喜1、吉田 晴彦1 (1.兵庫県立大工)