15:15 〜 15:30 △ [10p-W833-9] 室温原子層堆積法を用いたNb2O5積層コーティングの耐腐食特性 〇(DC)吉田 一樹1、三浦 正範2、英 傑1、鹿又 健作2、廣瀬 文彦1 (1.山形大院理工、2.山形大有機)