16:45 〜 17:00 △ [11p-W641-12] Y-O-F系セラミックスのCHF3およびO2プラズマによる腐食挙動 〇宮下 健司1、津之浦 徹1、吉田 克己1、矢野 豊彦1 (1.東工大工)