15:00 〜 15:15 △ [11p-M136-7] High-kゲートスタック界面準位密度のフラッシュランプアニール温度依存評価 〇首藤 広大1、吉仲 泰萌1、藤原 広大1、河原崎 光2、青山 敬幸2、加藤 慎一2、奈良 安雄1 (1.兵庫県立大工、2.(株)SCREENセミコンダクターソリューションズ)