14:45 〜 15:00 [9p-M113-6] プラズマ利用イオン注入法により作製したa-C:H膜の微細構造への負パルス電圧の影響 〇中尾 節男1、崔 埈豪2、園田 勉1 (1.産総研、2.東大工)