10:15 〜 10:30 [9a-W323-6] アセチルアセトナート錯体を原料とした酸化物フレームコーティング法によるY2O3膜の合成 〇(B)郭 振宇1、土生 陽一郎2、竹内 純一2、小松 啓志1、齋藤 秀俊1 (1.長岡技科大、2.トーカロ株式会社)