[9a-W323-1~12] 6.4 Thin films and New materials

[9a-W323-6] Synthesis of Y₂O₃ films by oxide flame coating method with acetylacetonate complex

〇(B)Zhenyu Guo¹, Yoichiro Habu², Jun-ichi Takeuchi², Keiji Komatsu¹, Hidetoshi Saitoh¹ (1.Nagaoka Univ. Tech., 2.TOCALO Co., Ltd.)

Keywords:Y2O3, acetylacetonate complex, oxide flame coating method

大気開放型化学気相析出(CVD)法では金属イオンを担持したアセチルアセトナート(acetylacetonate：acac)錯体やβ-ジケトン錯体(例えばY(DPM)₃)などが使用され、気化させたY-(DPM)₃原料とキャリアガスの混合ガスを、大気開放下で加熱した基材に吹き付けて基材上にY₂O₃膜の作製ができる。堆積速度は数nm/sである。本研究では、イットリウムイオンを担持したY-(acac)₃錯体を原料とした新しい酸化物フレームコーティング法によるY₂O₃膜の高速堆積に挑戦する。