09:30 〜 11:30 [10a-PA4-8] Yb添加によるAlN薄膜の圧電性の向上 〇(M1C)天野 雄貴1、上原 雅人1,2、Anggraini Sri Ayu2、平田 研二2、山田 浩志1,2、秋山 守人2 (1.九大総理工、2.産総研)