18:45 〜 19:00 [10p-W541-20] MOVPE法のGaN結晶成長3次元マルチフィジックスシミュレーション 〇川上 賢人1、高村 昴1、草場 彰3、芳松 克則2,1、岡本 直也1、寒川 義裕3,2、柿本 浩一3、白石 賢二2,1 (1.名大院工、2.名大未来研、3.九大応力研)