14:00 〜 14:15 [11p-W321-2] HVPE法によるトンネル接合に向けた高濃度ドーピングの検討 〇大島 隆治1、庄司 靖1、牧田 紀久夫1、生方 映徳2、菅谷 武芳1 (1.産総研、2.大陽日酸)