09:00 〜 09:15 △ [11a-W521-1] 4H-SiC(000-1)上TaC薄膜のグラフェン化 〇(B)清水 一矢1、林 直輝2、伊藤 孝寛3、乗松 航2 (1.名大工、2.名大院工、3.名大SRセ)