10:30 〜 10:45
〇柳 永シュン1、佐藤 和重2、田中 宏幸1,2、古賀 和博2、クンプアン ソマワン1,2、長尾 昌善1、松川 貴1、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ)
柳 永シュン
発表者・著者、共著者
2019年3月9日(土) 09:00 〜 12:00 M114 (H114)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術
2019年3月9日(土) 09:00 〜 12:00 M114 (H114)
10:30 〜 10:45
〇柳 永シュン1、佐藤 和重2、田中 宏幸1,2、古賀 和博2、クンプアン ソマワン1,2、長尾 昌善1、松川 貴1、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ)