13:45 〜 14:00 [11p-W541-2] ダイヤモンド基板上へのスパッタAlN成膜と高温アニール 〇白土 達也1、林 侑介2、上杉 謙次郎3、正直 花奈子4、三宅 秀人2,4 (1.三重大工、2.三重大院地域イノベ、3.三重大地域創生戦力企画室、4.三重大院工)