16:00 〜 18:00 [9p-PA4-22] AlドープZnO薄膜の電気的特性の径方向分布に及ぼすスパッタRF電力及びHe希釈の効果 〇諏訪 翁紀1、今泉 悟1、津田 和希1、中村 忠1、沖村 邦雄1 (1.東海大院工)