15:00 〜 15:15 △ [9p-W631-6] エキシマレーザーを用いたAl2O3膜アブレーションによる4H-SiCへのAlドーピング 〇(B)鎌田 晃生1、菊地 俊文1,2、中村 大輔1、池上 浩1,2 (1.九大、2.九大ギガフォトン共同部門)