15:00 〜 15:15 [9p-S223-6] 化学増幅型電子線レジストのパターン形成の確率論的シミュレーション 〇(D)香山 真範1、白井 正充1、川田 博昭1、平井 義彦1、安田 雅昭1 (1.大阪府大院工)