10:45 〜 11:00 [9a-M114-8] ミニマルファブを用いたTiNゲートSOI CMOSの電気的特性のばらつき評価 〇古賀 和博1、柳 永シュン2、居村 史人2,1、加瀬 雅2、野田 周一2、根本 一正2、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.ミニマルファブ推進機構、2.産総研)