09:30 〜 11:30 [11a-PA5-12] 低圧RF容量結合型炭化水素プラズマによるDLC膜堆積モデルの構築 〇(M1)小川 慎1、小田 昭紀1、太田 貴之2、上坂 裕之3 (1.千葉工大、2.名城大、3.岐阜大)