11:30 〜 11:45 [9a-M114-11] ウエハ洗浄における超純水使用量最適化に関する検討 〇影山 智明1,3、根本 一正2、クンプワン ソマワン2,3、原 史朗2,3、李 相錫1 (1.鳥取大学、2.ミニマルファブ推進機構、3.産総研)