16:00 〜 16:15 [12p-M111-10] シリコン結晶の高感度赤外吸収と赤外欠陥動力学(14)NO対系の赤外吸収と熱処理挙動 〇井上 直久1,2、川又 修一2、奥田 修一2 (1.東京農工大工学院、2.大阪府立大放射線センター)
16:15 〜 16:30 [12p-M111-11] シリコン結晶中の低濃度炭素の測定(XVⅢ)赤外吸収とSIMSの相互較正 〇井上 直久1,2、川又 修一2、奥田 修一2 (1.東京農工大工学院、2.大阪府立大放射線センター)