15:40 〜 15:55 △ [10p-M103-6] リモート酸素プラズマ照射によるグラフェンのlayer-by-layerエッチング過程のその場透過電子顕微鏡観察 〇杉浦 啓嗣1、近藤 博基1、樋口 公孝2、荒井 重勇2、堤 隆嘉1、石川 健治1、堀 勝3 (1.名大院工、2.名大未来材料・システム研究所、3.名大未来社会創造機構)