17:15 〜 17:30 [11p-W323-14] プラズマ支援エレクトロスプレー堆積法によるシリコンポリマー薄膜の作製 〇(M2)橋本 光平1、桑畑 湧太1、竹原 宏明1,2、一木 隆範1,2 (1.東大工、2.ナノ医療イノベーションセンター)