13:30 〜 13:45 △ [11p-W351-3] RFスパッタ法により作製したPZT系エピタキシャル薄膜のMPB特性 〇(M1C)野田 隆太1,2、清水 貴博1,2、和佐 清孝4、柳谷 隆彦1,2,3 (1.早稲田大学、2.材研、3.JSTさきがけ、4.横浜市立大)