14:00 〜 14:30 [10p-W922-2] 新規縦構造を用いた高いダイナミックな耐久性を持つ先進Siパワー半導体 〇中村 勝光1、鈴木 健司1、西 康一1 (1.三菱電機(株)パワーデバイス製作所)