09:30 〜 09:45 [11a-M121-3] 大気圧熱プラズマジェット照射後のポストアニールによるGa極性面GaNにイオン注入したMgの活性化促進 〇花房 宏明1、東 清一郎1、塩崎 宏司2 (1.広島大 先端研、2.名大 未来システム研)