18:00 〜 18:15 [11p-W541-17] HEATE法で作製したInGaN/GaN極微細ナノピラーに対する飽和オゾン水処理による表面パッシベーション効果 〇伊藤 大智1、生江 祐介1、松岡 明裕1、大江 優輝1、川崎 裕生1、森谷 裕太1、富樫 理恵1、菊池 昭彦1,2 (1.上智大・理工、2.上智大ナノテクセンター)