14:45 〜 15:00 [12p-W541-5] 高温アニールAlN/サファイア上へのAlGaN成長での歪み制御 〇稲森 崇文1、鈴木 涼矢2、劉 小桐3、上杉 謙次郎4、正直 花奈子2、三宅 秀人2,3 (1.三重大工、2.三重大院工、3.三重大院地域イノベ、4.三重大地域創生戦略企画室)