13:45 〜 14:00 [9p-M113-2] 軟X線発光分光および高輝度赤外分光を用いたアモルファス窒化炭素薄膜の化学結合状態評価 〇青野 祐美1、岸村 浩明2、石井 信伍3、佐藤 庸平3、寺内 正己3 (1.鹿児島大工、2.防衛大材料、3.東北大多元研)