13:30 〜 15:30 [9p-PA1-25] 赤外吸収分光を用いた樹脂膜上への室温原子層堆積過程のその場観察 〇鹿又 健作2、吉田 一樹1、齋藤 健太郎1、三浦 正範2、有馬 ボシールアハンマド1、久保田 繁1、平原 和弘1、廣瀬 文彦1 (1.山形大院、2.山形大有機材料システム)