16:00 〜 18:00 [9p-PB4-7] アモルファス酸化物薄膜半導体In-Si-O薄膜の相安定性 〇堀 龍輝1、ホアン ハ1、生田目 俊秀2、塚越 一仁2、藤原 明比古1 (1.関学大、2.物質材料研)