Exhibitors' information

[V-15] AOV Co., Ltd.

■１. グローブボックス内収納/接続型蒸着装置
■2. 真空蒸着用基板加熱機構（赤外線ランプ、赤外線レーザ、SiC、白金、グラファイト、シース等）
■３. 複合型PLD/MBE蒸着装置
■４. 多元マルチ型マグネトロンスパッタ装置