■超高真空PVD/PLD/MBE成膜装置 ■SiC結晶欠陥観察　PLイメージング装置 ■非接触キャリア濃度測定　テラヘルツエリプソメーター ■ＣＭＰパッド再生　再盛エコパッド ■デジタル画像相関法 ひずみ解析システム sDIC ■SEM用粒子解析ソフトウェア ■SEM用ナノインデンター用ナノインデンター