■真空低温プローバー ■抵抗率測定装置

■精密・超精密位置決め機器 ■フォースセンサ

■エレクトロケミカルCVプロファイラー
■ホール効果測定装置
■フォトルミネッセンスマッピングシステム
■FT-IRシステム ■分光反射率式膜厚測定システム

UV/DUV Laser Scanning Raman Microscopy "RAMANtouch vioLa"

■本事業は、大学・研究機関の保有する最先端のナノテクノロジー研究設備・技術を広く公開し、どなたでも研究・開発にご活用いただけるサービスです。利用事例や支援の仕組についてご紹介させていただきます。

NIMS Open Facility

■小型磁区観察顕微鏡 Neomagnesia Lite
■マスクレス露光装置 PALET
■デュアルコム ファラデー効果測定装置　(参考出品)
■サニャック干渉計振動観察装置

■高速多光子励起フォトルミネッセンス顕微鏡システム

Vacuum pump

CCD, sCMOS, ICCD, EMCCD, emICCD, X-Ray and InGaAs cameras, Spectrometers, Spectrographs, Imaging systems.