一般セッション(口頭講演) | 7 ビーム応用 | 7.1 X線技術 [10p-M112-1~7] 7.1 X線技術 2019年3月10日(日) 13:15 〜 15:00 M112 (H112) 豊田 光紀(東京工芸大)、渡辺 紀生(筑波大)
一般セッション(口頭講演) | 7 ビーム応用 | 7.2 電子ビーム応用 [9a-S223-1~9] 7.2 電子ビーム応用 2019年3月9日(土) 09:30 〜 12:00 S223 (S223) 橘田 晃宜(産総研)、川久保 貴史(香川高専)
一般セッション(口頭講演) | 7 ビーム応用 | 7.3 微細パターン・微細構造形成技術 [9p-S223-1~12] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術 2019年3月9日(土) 13:45 〜 17:00 S223 (S223) 山本 治朗(日立)、谷口 淳(東理大)
一般セッション(口頭講演) | 7 ビーム応用 | 7.5 イオンビーム一般 [10a-S224-1~8] 7.5 イオンビーム一般 2019年3月10日(日) 09:30 〜 11:30 S224 (S224) 阿保 智(阪大)、青木 学聡(京大)
一般セッション(口頭講演) | 8 プラズマエレクトロニクス | 8.1 プラズマ生成・診断 [9p-W323-1~17] 8.1 プラズマ生成・診断 2019年3月9日(土) 13:30 〜 18:00 W323 (W323) 赤塚 洋(東工大)、伊藤 剛仁(東大)
一般セッション(口頭講演) | 8 プラズマエレクトロニクス | 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理 [11p-W641-1~14] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理 2019年3月11日(月) 13:45 〜 17:30 W641 (W641) 小川 大輔(中部大)、篠田 和典(日立)
一般セッション(口頭講演) | 8 プラズマエレクトロニクス | 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理 [12a-W641-1~14] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理 2019年3月12日(火) 09:00 〜 12:45 W641 (W641) 竹田 圭吾(名城大)、鈴木 陽香(名大)
一般セッション(口頭講演) | 8 プラズマエレクトロニクス | 8.3 プラズマナノテクノロジー [10a-W241-1~7] 8.3 プラズマナノテクノロジー 2019年3月10日(日) 09:00 〜 10:45 W241 (W241) 田中 康規(金沢大)
一般セッション(口頭講演) | 8 プラズマエレクトロニクス | 8.4 プラズマライフサイエンス [9p-W241-1~12] 8.4 プラズマライフサイエンス 2019年3月9日(土) 13:45 〜 17:00 W241 (W241) 北野 勝久(阪大)、橋爪 博司(名大)
一般セッション(口頭講演) | 8 プラズマエレクトロニクス | 8.4 プラズマライフサイエンス [11a-W611-1~11] 8.4 プラズマライフサイエンス 2019年3月11日(月) 09:00 〜 12:00 W611 (W611) 栗田 弘史(豊橋技科大)、呉 準席(大阪市立大)